VF1110模擬型
Date:2020-10-27![](http://www.e360e.com/mb20/images/smlove.jpg)
模擬型氣體質量流量控制器
技術參數
量程: 5sccm~3000slm(N2當量)
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50: 1 (流量控制器) 100: 1 (流量計)
重復精度: ±0.2%F.S
線性精度: ±0.5%F.S
環境溫度: 5~45°C
溫度系數:<±0.1%F.S/°C
壓力系數:<±0.5%bar
泄漏率: <2* 10-8satm. ml/S
最大耐壓: 3MPa (流量小于30slm 可選6MPa)
供電: +15~24vdc
模擬信號:0~5vdc 或4~20mA
連接方式:卡套式連接或VCR連接
(連接尺寸根據客戶需求而定)
- 上一條VF1120數字型氣體
- 下一條VF1120數字型質量