VF1110模數字型
Date:2020-10-27
人氣 1404
模數字型氣體質量流量控制器
技術參數
量程： 5sccm～3000slm(N2當量）
精度： ±1.0%F.S
呈程比： 50: 1 (流呈控制器） 100: 1 (流呈計）
重復精度： ±0.2%F.S
線性精度： ±0.5%F.S
環境溫度： 5～45°C
溫度系數：＜±0.1 % F. S/℃
壓力系數：＜±0.5%bar
泄漏率： <2*10-8atm .ml/S
最大耐壓： 3MPa (流量小千30slm 可選6MPa)
供電： +15～24vdc
模擬信號： 0～5vdc 或4～20mA
數字信號： RS232、 RS485(Modbus-RTU)
連接方式：卡套式連接或VCR連接
（連接尺寸根據客戶需求而定）
- 上一條VF1120數字型質量
- 下一條VL400